北京北方华创微电子装备有限公司取得一种进气组件相关专利，解决了传统半导体工艺设备的部分问题

2025-04-10 12:32:00

金融界2025年4月10日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“一种进气组件、半导体工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN 222734925 U，申请日期为2024年3月。专利摘要显示，本申请公开了一种进气组件、半导体工艺腔室及半导体工艺设备，进气组件 详情>>