北京北方华创微电子装备有限公司取得一种进气组件相关专利，解决了传统半导体工艺设备的部分问题

金融界2025年4月10日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“一种进气组件、半导体工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN 222734925 U，申请日期为2024年3月。

专利摘要显示，本申请公开了一种进气组件、半导体工艺腔室及半导体工艺设备，进气组件包括：盖板，设有进气口，所述进气口用于与微波发生腔连通；过滤件，设置在所述盖板远离所述微波发生腔的一侧，所述过滤件包括第一区域，所述进气口在所述过滤件上的投影落入所述第一区域内，所述第一区域用于阻挡所述微波发生腔产生的光通过。本申请的进气组件同时具备过滤带电粒子和紫外光的功能，可以省去传统半导体工艺设备中微波系统所需的长导管，从而解决了传统的半导体工艺设备的体积过大、维护不便的问题。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1011次，财产线索方面有商标信息45条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。

本文源自金融界